光学式膜厚計 FMP2000シリーズ

光学式膜厚計 FMP2000シリーズ

特長

測定可能波長

UV(紫外)~NIR(近赤外)

その他特長

  • グレーティング(回折格子)による分光
  • 当社の全自動蒸着制御システム「SEVEN」と組み合わせることで、より高精度な蒸着制御が可能
  • 信号の伝送は、ノイズフリーの光ファイバを採用
  • 光学部品は、簡単メンテナンス
  • 可視域から近赤外域(FMP2000VIS/NIR)、可視域から紫外域(FMP2000UV/VIS)までの任意の波長の光量を高精度に測定可能

基板回転機構

基板回転機構

特長

  • 耐荷重が大きく、耐久性、メンテナンス性に優れています
  • 回転駆動部が大気中にあるので、ダストの発生が少なくなります
  • リングギア駆動方式に比べ、ドーム径が大きく、回転がスムーズです
  • チャンバ内の駆動部分が少ないので、クリーニングが容易です
  • 3~30rpmの滑らかな高速回転が可能で、良好な膜厚分布が得られます

モニタガラスチェンジャ

モニタガラスチェンジャ

特長

  • モニタガラスは60枚まで装着可能、使用済ガラスはカートリッジに収容されます
  • オプションで100枚まで装着可能です
  • モニタガラスを基板と同じ温度に加熱させるため個別にヒータが付いています
  • モニタガラス同士の付着防止機能を採用しています
  • モニタガラスプレートによる基板温度分布への悪影響がありません

全自動蒸着制御システム「SEVEN」

全自動蒸着制御システム「SEVEN」

特長

  • 表計算ソフトの操作感覚で、蒸着条件の編集が可能
  • 多彩な蒸着制御方法が可能
  • わかりやすいイメージ表示やグラフ表示
  • 各種データのファイル保存、グラフ表示機能