製品紹介

光学薄膜市場向け真空成膜装置

デジタルカメラ、液晶プロジェクタ等に使われる各種レンズ・ミラー・フィルタ類への、光学薄膜の特性向上やクリーン化、樹脂化、さらには低コスト化といった様々なご要求に対し、当社独自のSPD方式による「イオンプレーティング装置」を始め、「IAD装置」など、最先端の成膜システムがお客様の課題を解決します。

機能・仕様

SPDイオンコータ®

SPDイオンコータ®

低温成膜に対応したイオンプレーティング装置。

ノンシフト対応IADシステム

ノンシフト対応IADシステム

IADにより、ノンシフト膜、低温成膜を実現。

3槽インラインSPDイオンコータ®

3槽インラインSPDイオンコータ®

独自のドーム機構により成膜槽内が広く、SPDにも対応。

特長的機能のご紹介

特長的機能のご紹介

システムを構成するコンポーネントや、オプション機器をご紹介。