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付加価値の高い高度な加工・処理能力を実現。
光学、半導体、液晶などに使用される光学薄膜から自動車ランプの反射膜・保護膜形成まで、 ハイテク技術を支える各種薄膜形成に新明和の真空システム技術が貢献しています。 オーダーメード型の複合装置からバッチ式まで、最先端の技術がお客様の課題を解決します。
光学薄膜市場向け真空成膜装置
デジタルカメラ、液晶プロジェクタ等に使われる各種レンズ・ミラー・フィルタ類への、 光学薄膜の特性向上やクリーン化、樹脂化、さらには低コスト化といったさまざまなご要求に対し、 当社独自のSPD方式による「イオンプレーティング装置」をはじめ、 「IAD装置」など、最先端の成膜システムがお客さまの課題を解決します。
装飾膜市場向け真空成膜装置
「重合+スパッタ装置」や「重合+蒸着装置」等、自動車ランプの反射膜、 保護膜形成に活躍する新明和の真空装置は、単槽バッチ式からサークル式、インライン多槽式まで、 お客さまの生産形態に合わせて最適なシステムをお選びいただけます。
大型複合真空システム
最大3,000mm角の大型チャンバと真空搬送ロボット、ゲート弁、周辺装置などを組み合わせた、 オーダーメード型複合システム。 光学、半導体、液晶ほか、ハイテク技術を支える各種薄膜形成に貢献しています。
コンポーネントおよびオプション機器
コールドトラップ用「超低温冷却装置」「大型真空ゲート弁」「光学式膜厚計」などの各種コンポーネントが、 真空装置の性能・生産性アップに幅広く活躍しています。