製品紹介

DLCコーティング装置

  • 装置販売
  • 受託処理

技術情報

DLC (Diamond Like Carbon) とは

ダイヤモンドライクカーボンとはアモルファス構造を持ち、ナノオーダーのダイヤモンドとグラファイトのsp3/sp2結合を有した膜です。主に切削工具や金型、各種機械部品などに使用されています。
DLCは成膜方式や膜構造により様々な特長を有し、PVD(物理蒸着)では水素を含まない、水素フリーDLCが成膜可能です。
一般的に水素フリーDLCは、ビッカース硬度(HV)5,000以上の数値を示し、非常に高い硬度と低摩擦係数が特長です。しかし、PVD法による水素フリーDLCは、硬度が高いゆえに内部応力が高く、厚膜化が困難とされています。
また、CVD(化学蒸着)法では水素を含有したDLCが成膜でき、ビッカース硬度がおよそ(HV)4,000以下となります。
水素フリーDLCよりも硬度は下がる一方、付きまわりが良く複雑な形状や円筒形内部にも成膜を行うことができます。

DLCコーティング装置

DLCコーティング装置

得られる効果とは

DLC最大の特徴は非常に高い硬度と耐摩耗性です。
製造現場で欠かすことのできない切削工具や金型、パンチ、各種機械部品の長寿命化に効果を発揮します。
切削工具の場合は切削加工時の「加工面の仕上り向上」、アルミ加工においては「溶着防止」などの効果も得られます。

当社DLC膜について

当社のDLC装置は、グラファイトを蒸着源としたパルス制御のPVD方式で成膜しており、水素フリーDLC膜を提供します。
sp3結合が約70-80%、高硬度(HV6,000以上)、低摩擦係数、低温(150℃以下)での成膜が可能です。
膜厚1.5μm以上の成膜が可能で、一般的なDLCよりも厚膜化できるプロセスとなっております。
大手工具メーカのエンドミルにも採用され、金型や機械部品などへも実績があります。

また、当社の装置では導電性を持たせたDLC膜「CN膜」を開発しました。
導電性かつ耐摩耗性をご要望される場合、当社CN膜はより効果を発揮します。

DLC膜特性&装置仕様

DLC膜特性
膜質 ta-C CN
硬度 HV6,000-8,000 HV2,000-3,000
摩擦係数 0.1-0.2 -
膜厚 1.5μm<
(標準:0.7-1.0μm)
<1.0μm
抵抗値 1-5×106Ω/□ 0.02 Ω/□
耐熱温度 <500℃ <500℃
膜色 濃灰色 濃灰色
装置仕様
サイズ W 6,200mm
D 2,620mm
H 2,650mm
質量 約5,200kg
処理領域 Φ600 × H 600mm
処理温度 150℃未満

装置販売 & 受託処理

当社では水素フリーDLCが成膜可能なDLCコーティング装置を販売しております。
また、本DLC装置を用いた受託成膜処理も行っております。
大手工具メーカのエンドミルやドリルをはじめ、製造現場で使用されるガイドピンや金型など多数の実績がございます。
ご質問やお見積りのご依頼は、下記「お問い合わせ」からお問い合わせいただけます。

応用例

  • 切削工具 (エンドミル, ドリル, インサートチップ, ホブ etc.)
  • 金型 (絞り, プレス, パンチ etc.)
  • 機械部品 (ガイドピン, 摺動部品 etc.)
  • 刃物 (美容関連製品 etc.)
  • 人工心臓
  • DLC 応用例の写真

カタログダウンロード

DLCコーティング装置カタログ[PDF/1.9MB]

製品に関するお問い合わせ

新明和工業株式会社産機システム事業部PB部

TEL : (0798)-54-1880

FAX : (0798)-54-1805

兵庫県宝塚市新明和町1-1