製品紹介

DLCコーティング装置

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  • 受託処理

技術情報

DLC (Diamond Like Carbon) とは

ダイヤモンドライクカーボンとはアモルファス構造を持ち、ナノオーダーのダイヤモンドとグラファイトのsp3/sp2結合を有した膜です。主に切削工具や金型、各種機械部品などに使用されています。
DLCは成膜方式や膜構造により様々な特長を有し、PVD(物理蒸着)では水素を含まない、水素フリーDLCが成膜可能です。
一般的に水素フリーDLCは、ビッカース硬度(HV)5,000以上の数値を示し、非常に高い硬度と低摩擦係数が特長です。

DLC (Diamond Like Carbon) とは

メリット

DLC最大の特長は非常に高い硬度と耐摩耗性です。
切削工具や金型、パンチ、各種機械部品の長寿命化に効果を発揮します。
切削工具の場合は切削加工時の「加工面の仕上り向上」、アルミ加工においては「溶着防止」などの効果も得られます。

当社DLC膜について

当社のDLC装置は、グラファイトを蒸着源としたパルス制御のPVD方式で成膜しており、水素フリーDLC膜を提供します。
sp3結合が約70-80%、高硬度(HV4,000-6,000)、低摩擦係数、低温(150℃以下)での成膜が可能です。
しかし、PVD法による水素フリーDLCは、硬度が高いゆえに内部応力が高く、厚膜化が困難とされていますが、当社では一般的なDLCよりも厚膜化できるプロセスとなっております。
大手工具メーカー(*1)のエンドミルにも採用され、金型や機械部品などへも実績があります。

また、当社の装置では導電性を持たせたDLC膜「CN膜」を開発しました。
導電性かつ耐摩耗性をご要望される場合、当社CN膜はより効果を発揮します。

*1 三菱マテリアル株式会社様と共同開発
http://www.mitsubishicarbide.com/download_file/2009/267

DLC膜特性

DLC膜特性
膜質 ta-C CN
硬度 HV4,500-6,000 HV2,000-3,000
摩擦係数 0.1-0.3
膜厚 1.0μm<
(標準:0.7-1.0μm)
0.5μm<
(標準:0.5-1.0μm)
シート抵抗 1-5×106Ω/cm 1.4×10^3Ω/cm
(下地層なし)
耐熱温度 <500℃ <500℃
膜色 濃灰色 濃灰色

装置仕様

仕様
サイズ W 6,260mm
D 2,620mm
H 2,650mm
質量 約5,200kg
処理領域 ⌀ 600 × H 600mm
処理温度 150℃未満
DLCコーティング装置

DLCコーティング装置

装置販売 & 受託処理

当社では水素フリーDLCが成膜可能なDLCコーティング装置を販売しております。
また、本DLC装置を用いた受託成膜処理も行っております。
ご質問やお見積りのご依頼は、下記「お問い合わせ」からお問い合わせいただけます。

応用例

  • 切削工具 (エンドミル, ドリル, インサートチップ)
  • 金型 (絞り, プレス, パンチ, 射出成型 etc.)
  • 機械部品 (ガイドピン, 摺動部品 etc.)
  • 人工心臓
DLC 応用例の写真
DLC 応用例の写真エンドミル

エンドミル

DLC 応用例の写真カッタ刃

カッタ刃

カタログダウンロード

DLCコーティング装置カタログ[PDF/658KB]

製品に関するお問い合わせ

新明和工業株式会社産機システム事業部PB部

TEL : (0798)-54-1880

FAX : (0798)-54-1805

兵庫県宝塚市新明和町1-1